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跨越27年的历史，， ， ，，，，，开启全球性企业新未来
用途：
Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特点：
绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低本钱
用于中度严苛制程的节能泵
产品样本和手艺手册
名称
宣布时间
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2021-01-04
产品外观图
